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    氧化釕氧化銥奈米相化學氣相沉積之選擇性成長研究
    • 化學工程系 /93/ 碩士
    • 研究生: 王仁君 指導教授: 蔡大翔
    • 摘 要 此論文利用兩年時間研究二氧化釕、二氧化銥奈米桿化學氣相沉積在Zn/Si、LiNbO3(100)、SA(012)、SA(100)基材表面的選區成長。這些一維奈米桿垂直陣列於LiNbO3(…
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